| 薄膜厚度对ZnO：Al透明导电膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 郝晓涛,马瑾,马洪磊,杨莺歌,王卿璞,黄树来.薄膜厚度对ZnO：Al透明导电膜性能的影响[J].液晶与显示,2002,17(3):169-174. |
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| 作者姓名： | 郝晓涛 马瑾 马洪磊 杨莺歌 王卿璞 黄树来 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院 山东济南250100
(郝晓涛，马瑾，马洪磊，杨莺歌，王卿璞)，山东大学物理与微电子学院 山东济南250100(黄树来) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 6 9876 0 2 5 ) |
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| 摘 要： | 铝掺杂的氧化锌 (ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底 (Polypro pyleneadipate,PPA)和Corning 70 5 9玻璃上制备的。详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。制备的ZnO∶Al薄膜具有 (0 0 2 )面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构 ,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为 2 .5 5× 1 0 - 3 Ω·cm和1 .89× 1 0 - 3 Ω·cm ,平均透射率达到了 80 %和 85 %。
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| 关 键 词： | ZnO：Al 透明导电膜 薄膜厚度 柔性衬底 铝掺杂 氧化锌 结构 光学性质 电学性质 |
| 文章编号： | 1007-2780(2002)03-0169-06 |
| 修稿时间： | 2001年12月13 |
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