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| 不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长 | |
| 引用本文： | 王超,杨小天,唐魏,赵春雷,杨佳,高晓红,李香萍,高忠民,杜国同.不同衬底上氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积方法生长[J].液晶与显示,2009,24(5). |
| 作者姓名： | 王超 杨小天 唐魏 赵春雷 杨佳 高晓红 李香萍 高忠民 杜国同 |
| 作者单位： | 1. 吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,130021 2. 吉林建筑工程学院,电气与电子信息学院,吉林,长春,13002;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 3. 吉林大学,电子科学与工程学院,吉林,长春,130012 4. 吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012 |
| 基金项目： | NCET，NSFC，Project of Changchun Science and Technology Plans，Project of Ministry of Construction P. R. China and Department of Education of Jilin Province |
| 摘 要： | 氧化锌薄膜通过金属有机化学气相沉积方法生长在康宁玻璃与α-蓝宝石衬底上,研究了有关薄膜的生长质量与发光特性.通过X光衍射方法测试研究发现,不仅在以α-蓝宝石为衬底的样品中,同时,在以玻璃为衬底的样品中都发现了氧化锌(0 0 2)方向生长的尖峰,表明生长在两种衬底上的样品都是高度的C向生长.对两种样品的荧光谱研究发现,两者的紫外峰位于374 nm附近,在以α-蓝宝石为衬底的样品中,有深能级发射,但在以玻璃为衬底的样品中没有发现,表明在玻璃衬底上我们生长出了高质量的氧化锌薄膜.通过原子力显微镜,对生长在两种衬底上薄膜的表面形貌做了观察,其晶粒的大小与表面粗糙度有一定的差别,表明二者都是以柱状形式生长的. |
| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜 生长 |
Growth of ZnO Films on Different Substrates by Metal Organic Chemical Vapor Deposition |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MOCVD ZnO thin films growth MOCVD |
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