低能电子束辅助蒸镀的初步实验

自从六十年代中期用断面电子显微术揭示了薄膜的微结构以来,薄膜的各种特性,光学的,磁学的,电学的,超导的,机械的,以及各种薄膜现象,包括薄膜的稳定性,追根溯源,便找到了说明的根由和改进的出发点。一种自然的趋势,是用某种物理手段来影响薄膜的成核、成长过程,改变薄膜的结构,从而使薄膜具有某些预期的特性。