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ZnO/TiO2多层薄膜氨气敏光学特性研究
引用本文:陈凯,吴文鹏,郑顺镟.ZnO/TiO2多层薄膜氨气敏光学特性研究[J].激光技术,2001,25(3):209-213.
作者姓名:陈凯  吴文鹏  郑顺镟
作者单位:1.中山大学物理系, 广州, 510275
摘    要:介绍用SG法制备了ZnO/TiO2多层薄膜的方法,研究了在几种还原性气体中的气敏透射光谱,发现其对氨气具有优良的选择性,且其光学透过率在一定浓度范围内随氨蒸气浓度增加而显著地单调上升,敏感波段扩展到整个可见光区域。这是一种有实用价值的气敏光纤传感材料。讨论了该多层薄膜的气敏光学机理和高选择性的机理。

关 键 词:SG法    ZnO/TiO2多层薄膜    氨气    选择性    气敏光纤传感材料
收稿时间:2000-01-11
修稿时间:2000年1月11日

Study on ammonia-sensitive optical property of ZnO/TiO2 multi-layer thin film
Abstract:In the paper,the preparation of ZnO/TiO2 multi layer film with S G method is introduced and the gas sensitive optical property of the film is studied.The film is very sensitive to ammonia.It's light transmittance increases considerably and monotonously as the gas concentration increases.The sensitive wavelength band extends to full visible spectrum.This material is of great practical value for gas sensing fiber.The gas sensitive mechanism and high selectivity mechanism are also discussed.
Keywords:S  G method  ZnO/TiO  2 multi  layer  film  ammonia  selectivity  gas sensing optical fiber
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