| LIGA工艺中微电铸工艺研究 |
| |
| 引用本文： | 马龙,周月豪,熊良才,柳海鹏,史铁林. LIGA工艺中微电铸工艺研究[J]. 激光技术, 2006, 30(1): 47-49 |
| |
| 作者姓名： | 马龙 周月豪 熊良才 柳海鹏 史铁林 |
| |
| 作者单位： | 华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉,430074 |
| |
| 摘 要： | 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.
|
| 关 键 词： | 微电铸 LIGA 准分子激光 PMMA |
| 文章编号： | 1001-3806(2006)01-0047-03 |
| 收稿时间： | 2004-10-20 |
| 修稿时间： | 2004-11-03 |
The study of micro-electroform in LIGA |
| |
| MA Long,ZHOU Yue-hao,XIONG Liang-Cai,LIU Hai-peng,SHI Tie-lin. The study of micro-electroform in LIGA[J]. Laser Technology, 2006, 30(1): 47-49 |
| |
| Authors: | MA Long ZHOU Yue-hao XIONG Liang-Cai LIU Hai-peng SHI Tie-lin |
| |
| Affiliation: | School of Mechanical Science and Engineering, HUST, Wuhan 430074, China |
| |
| Abstract: | A high-aspect-ration hole with line width of 32μm,height of 2000μm are drilled on PMMA by excimer laser,then it is used as mould in electroform as well as another structure made by lithographic. Through experiments,the parameters are optimined to fit the high-aspect-ration structure electroform,two main difficulties including the surface tension and polarization of concentration are resolved and the micro-structure with line width of l0μm is obtained. |
| |
| Keywords: | LIGA PMMA |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《激光技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《激光技术》下载全文 |
|
