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光学薄膜微结构的透射电镜测试
引用本文:颜清华.光学薄膜微结构的透射电镜测试[J].激光技术,1987,11(5):20-23.
作者姓名:颜清华
作者单位:1.中国科学院成都分院分析测试中心
摘    要:本文论述了应用透射电子显微镜技术对光学薄膜的微结构进行测试,并详细叙述了透射电镜的样品制备技术。

收稿时间:1987-06-10

TEM test of microstructure of optical thin films
Abstract:Application of transmission electron microscope technique to microstructurc test of optical thin films and the preparatory technique of TEM specimen are described.
Keywords:
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