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| 微电子学、集成电路 | |
| 摘 要： | TN4 2005030352 元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用/周再发,黄庆安,李伟华(东南大学)//传感器技术.-2004,23(4).-77-80 随着计算机技术的发展和MEMS自身发展的需要,应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的研究发展迅速.首先,简要介绍了元胞自动机原理,然后,综述了元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用现状,分析了应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的前景和方向。图3参13(李) |
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