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截止频率为120GHz的晶格匹配InP基HEMT
引用本文:陈立强,张海英,尹军舰,钱鹤,牛洁斌.截止频率为120GHz的晶格匹配InP基HEMT[J].半导体学报,2005,26(3).
作者姓名:陈立强  张海英  尹军舰  钱鹤  牛洁斌
作者单位:中国科学院微电子研究所,北京,100029
基金项目:国家自然科学基金,国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:报道了具有良好直流特性的晶格匹配InP基HEMT,器的跨导为600mS/mm,阈值电压为-1-2V,最大电流密度为500mA/mm,截止频率为120GHz.

关 键 词:截止频率  高电子迁移率场效应晶体管  InAlAs/InGaAs  InP

Lattice-Matched InP-Based HEMTs with fT of 120GHz
Chen Liqiang,Zhang Haiying,Yin Junjian,Qian He,Niu Jiebin.Lattice-Matched InP-Based HEMTs with fT of 120GHz[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(3).
Authors:Chen Liqiang  Zhang Haiying  Yin Junjian  Qian He  Niu Jiebin
Abstract:Lattice-matched InP-based InAlAs/InGaAs HEMTs with 120GHz cutoff frequency are reported.These devices demonstrate excellent DC characteristics:the extrinsic transconductance of 600mS/mm,the threshold voltage of -1.2V,and the maximum current density of 500mA/mm.
Keywords:cutoff frequency  high electron mobility transistors  InAlAs/InGaAs  InP
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