垂直腔面发射激光器的研究进展及其应用

垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有常规半导体激光器不可比拟的优点：其光束是园形的，易于实现与光纤的高效耦合；VCSEL的有源区尺寸可做得非常小，以获得高封装密度和低阈值电流；适宜的设计可将激光二极管制成简单的单片集成二维列阵，以实现二维光数据处理所用的激光源；芯片生长后无须解理、封装即可进行在片实验。由于VCSEL的优良性能，从而获得了国内外科技界、企业界的高度关注。本对这种器件的性能、开发现状及应用作简要的概述。