| 提取共面微波探针S 参数的方法* |
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| 引用本文： | 吴爱华,楼红英,刘晨,孙静,梁法国.提取共面微波探针S 参数的方法*[J].微波学报,2016,32(2):35-38. |
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| 作者姓名： | 吴爱华 楼红英 刘晨 孙静 梁法国 |
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| 作者单位： | （1.中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051；2.南京电子技术研究所，南京210039） |
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| 摘 要： | 共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介，通过与晶圆片物理接触，建立起测量系统与芯片之间
的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S 参数，设计并实现了“两步法”测量方案，首先在同轴端口进行校准，然
后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析，证明了方案的可行性，同时指出在片校准件预校准的重要
性。另外，讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT 校准件对于探针S 参数提取中的影响，实验显示二者相角偏差达到
39.8°，回波损耗呈现规则性的变化，全部测量数据的频段覆盖1~40 GHz，最终给出了优化的测量方案。
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| 关 键 词： | 共面波导，微波探针，裸芯片，S 参数 |
Methodology for Extracting S-Parameter of
Coplanar Microwave Probe |
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| WU Ai-hu,LOU Hong-ying,LIU Chen,SUN Jing,LIANG Fa-guo.Methodology for Extracting S-Parameter of
Coplanar Microwave Probe[J].Journal of Microwaves,2016,32(2):35-38. |
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| Authors: | WU Ai-hu LOU Hong-ying LIU Chen SUN Jing LIANG Fa-guo |
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| Keywords: | |
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