| MMIC在片测试探头的研究与设计 |
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| 引用本文： | 周凌云,王卫东,等.MMIC在片测试探头的研究与设计[J].微波学报,2001,17(4):80-84. |
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| 作者姓名： | 周凌云 王卫东 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学毫米波实验室, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目(69332013)。 |
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| 摘 要： | 微波单片集成电路（MMIC）在片测试技术是应用于MMIC和高速集成电路研究、生产的新型测试技术。MMIC在片测试探头是MMIC在片测试系统的关键部件。本文研究并设计了介质基片共面波导（CPW）探头，测试并分析了探头性能。该探头在2－18GHz范围内插入损耗小于1．5dB，回波损耗大于16dB。
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| 关 键 词： | 微波单片集成电路 在片测试 在片测试探头 共面波导 |
| 修稿时间： | 2000年12月11 |
The Study and Design of MMICOn-Wafer Probe |
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| ZHOU Lingyun,WANG Weidong,FAN Desen.The Study and Design of MMICOn-Wafer Probe[J].Journal of Microwaves,2001,17(4):80-84. |
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| Authors: | ZHOU Lingyun WANG Weidong FAN Desen |
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| Abstract: | MMIC on-wafer measurement is applied in the field of MMIC and high-speed IC.MMIC on-wafer probe is the key part of MMIC on-wafer measurement system. A kind of coplanar waveguide (CPW) probe is designed, its characteristics are measured. The insertion loss of the probe at 2~18GHz is less than 1.5dB while the return-loss is larger than 16dB. |
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| Keywords: | Monolithic microwave integrated circuit (MMIC) On-wafer measurement On-wafer probe Coplanar waveguide (CPW) |
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