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小型低温真空光学实验装置设计
引用本文:屈金祥,陆燕.小型低温真空光学实验装置设计[J].红外与激光工程,2006,35(4):464-467,504.
作者姓名:屈金祥  陆燕
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
摘    要:为适应未来遥感光学系统研究的需要,研制了一套低温真空实验装置.该实验装置包括低温真空腔体、真空抽气系统、ZYGO干涉仪和防震平台以及监控测温系统.其中的低温真空腔体是针对小型光学元件实验设计的,主要用于测量光学元件的温度场和低温变形,并且把电机产生的局部热量尽可能导出系统.文中还对真空低温腔的关键部件光学窗口和梯形支撑的设计进行了详细分析.

关 键 词:低温真空  低温光学  实验装置  有限元  ZYGO干涉仪  梯形支撑
文章编号:1007-2276(2006)04-0464-04
收稿时间:2005-09-20
修稿时间:2005-09-202005-10-10

Design of small vacuum experiment equipment of cryogenic optics
QU Jin-xiang,LU Yan.Design of small vacuum experiment equipment of cryogenic optics[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(4):464-467,504.
Authors:QU Jin-xiang  LU Yan
Affiliation:Shanghai Institute of Technical Physics ,Chinese Sciences Academy, Shanghai 200083 ,China
Abstract:
Keywords:Cryogenic vacuum  Cryogenic optics  Experiment equipment  Finite element  ZYGO interferometer  Trapezia supports
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