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长波长1.3μm激光器腔面镀减反射膜超辐射发光管的制备
引用本文:鲍海飞,石家纬,刘明大.长波长1.3μm激光器腔面镀减反射膜超辐射发光管的制备[J].红外与激光工程,1995(4).
作者姓名:鲍海飞  石家纬  刘明大
作者单位:吉林大学光电子实验室
摘    要:本实验采用IL-400型膜厚速率控制仪和钼舟,对半导体激光器端面分别蒸镀单层和双层减反射膜来制备长波长超辐射发光二极管,并对蒸镀减反射膜后器件的功率特性和光谱特性方面进行了测试。

关 键 词:超辐射发光二极管,钼舟,蒸镀减反射膜
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