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CO2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计
引用本文:吴环宝,王肇圻,傅汝廉,刘娟,乐丹.CO2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计[J].红外与激光工程,2006,35(3):351-353,358.
作者姓名:吴环宝  王肇圻  傅汝廉  刘娟  乐丹
作者单位:1. 南开大学,现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
2. 粤铭激光技术有限公司,广东,东莞,523048
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0~11.0 μm的f-θ镜.结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原单波长f-θ镜有所提高,像面上的光斑在各个波长和视场上大小均匀.系统像差在各个波长上都接近或达到衍射极限,具有精确的光学扫描特性.

关 键 词:光学设计  f-θ镜  折/衍混杂  消色差
文章编号:1007-2276(2006)03-0351-03
收稿时间:2005-05-17
修稿时间:2005-05-172005-08-11

Design of hybrid refractive-diffractive f-θ lens working on CO2 laser drilling system
WU Huan-bao,WANG Zhao-qi,FU Ru-lian,LIU Juan,LE Dan.Design of hybrid refractive-diffractive f-θ lens working on CO2 laser drilling system[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(3):351-353,358.
Authors:WU Huan-bao  WANG Zhao-qi  FU Ru-lian  LIU Juan  LE Dan
Affiliation:1,Key Laboratory of Opto-electronic Information Science and Technology, Institute of Modem Optics, Nankai University, Tianjin 300071, China; 2. Yueming Laser Technology Co. Ltd, Dongguan 523048, China
Abstract:
Keywords:
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