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| InGaAs近红外线列焦面阵的研制进展 | |
| 引用本文： | 龚海梅,张可锋,唐恒敬,李雪,张永刚,缪国庆,宋航,方家熊.InGaAs近红外线列焦面阵的研制进展[J].红外与激光工程,2009,38(1). |
| 作者姓名： | 龚海梅 张可锋 唐恒敬 李雪 张永刚 缪国庆 宋航 方家熊 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件国防科技创新实验室,上海,200083 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050 3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 |
| 摘 要： | 研制出光谱响应为0.9～1.7μm的256×1、512×1元InGaAs线列焦平面组件,和光谱响应延展至2.4μm的256×1元InGaAs线列焦平面组件.焦平面组件包括光敏芯片、读出电路、热电制冷器以及管壳封装.光敏芯片在Inp/InGaAs/InP(p-i-n)双异质结外延材料上采用台面结构实现,并与128×1或512×1元CTIA结构的读出电路耦合.焦平面器件置于双列直插金属管壳中,采用平行缝焊的方式进行封装.介绍了高均匀性长线列InGaAs焦平面组件的关键技术和主要性能结果,为更长线列焦平面组件的研制提供了坚实的基础. |
| 关 键 词： | 短波近红外 焦平面组件 读出电路 |
Developments of near IR linear InGaAs FPAs in China |
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| GONG Hai-mei,ZHANG Ke-feng,TANG Heng-jing,LI Xue,ZHANG Yong-gang,MIAO Guo-qing,SONG Hang,FANG Jia-xiong.Developments of near IR linear InGaAs FPAs in China[J].Infrared and Laser Engineering,2009,38(1). | |
| Authors: | GONG Hai-mei ZHANG Ke-feng TANG Heng-jing LI Xue ZHANG Yong-gang MIAO Guo-qing SONG Hang FANG Jia-xiong |
| Abstract: | |
| Keywords: | InGaAs |
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