| 上反射法三腔窄带滤光片的研制 |
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| 引用本文： | 马孜,肖琦,姚得武.上反射法三腔窄带滤光片的研制[J].红外与激光工程,2006,35(Z2). |
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| 作者姓名： | 马孜 肖琦 姚得武 |
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| 摘 要： | 通过对国产上反射法监控光学自动镀膜机的监控精度分析,用TFCalc软件计算了三腔滤光片可能的光谱性能,采用半波控制法进行监控,制作了半带宽30 nm的1.06μm三腔窄带滤光片,验证了理论分析的正确性,证明采用非垂直入射监控也能得到性能较好的窄带滤光片.
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| 关 键 词： | 上反射法 窄带滤光片 监控误差 |
Three cavity narrow band pass filtermonitored by upper reflectance setup |
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| MA Zi,XIAO Qi,YAO De-wu.Three cavity narrow band pass filtermonitored by upper reflectance setup[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(Z2). |
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| Authors: | MA Zi XIAO Qi YAO De-wu |
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