多金属层诱导透射紫外“日盲”探测成像滤光片设计与低温制备研究

基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构，结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数，并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化；在此基础上采用导纳匹配法，理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜，并系统分析了Al和SiO2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响；进一步采用低温、高真空Al、SiO2薄膜生长工艺，成功获得了峰值波长位于218 nm附近，峰值透过率~23.1%，带宽~32 nm，在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%，400～700 nm、800~1 100 nm波段的截止度分别可达~5.0 OD、~4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射日盲紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。