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2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器
引用本文:史衍丽,曹婉茹,周艳,杨明珠,何丹.2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器[J].红外与激光工程,2008,37(6).
作者姓名:史衍丽  曹婉茹  周艳  杨明珠  何丹
基金项目:武器装备预研先研究项目  
摘    要:量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用.为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz<1/2·W-1.第一支样管的噪声等效温差为33.2 mK,响应率不均应性8.9%.面阵盲元率1%.在70 K温度下获得了1 km和4.2 km处的建筑物的清晰成像.实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性.

关 键 词:量子阱红外探测器  长波  焦平面  噪声等效温差

GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetectors array with 2 μm pixel distance
SHI Yan-li,CAO Wan-ru,ZHOU Yan,YANG Ming-zhu,HE Dan.GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetectors array with 2 μm pixel distance[J].Infrared and Laser Engineering,2008,37(6).
Authors:SHI Yan-li  CAO Wan-ru  ZHOU Yan  YANG Ming-zhu  HE Dan
Abstract:
Keywords:GaAs/AlGaAs
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