| 激光在硅基底沉积类金刚石膜的光学应用 |
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| 引用本文： | 程勇,郭延龙,王淑云,米朝伟,丁方正,万强.激光在硅基底沉积类金刚石膜的光学应用[J].红外与激光工程,2010,39(5). |
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| 作者姓名： | 程勇 郭延龙 王淑云 米朝伟 丁方正 万强 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了氧气氛和掺硅对类金刚石(DLC)膜性能的影响机理.采用飞秒激光烧蚀石墨靶材,通过氧气氛、掺硅和离轴平移旋转等技术,在硅基底上镀制出比传统工艺透过率、硬度、附着力和稳定性等性能更优的无氢DLC膜.实验验证了随着氧气氛压强的增大,样片透过率先增大后减小,存在一个最佳气压(2 Pa).并且掺硅有助于改善DLC膜的性能,掺硅量也存在一个最佳值.在3-5 μm波段,正面镀DLC膜、背面镀普通增透膜的硅红外窗口的平均透过率≥91.7%,DLC膜的纳米硬度高达40～50 GPa.且通过军标规定的高温、低温、湿热、盐雾、重摩擦等环境实验.满足光学窗口工程应用的要求.
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| 关 键 词： | 激光沉积 类金刚石膜 硅基底 光学应用 |
Optical application of diamond like carbon film deposited on Si substrate by pulsed laser |
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| CHENG Yong,GUO Yan-long,WANG Shu-yun,MI Chao-wei,DING Fang-zheng,WAN Qiang.Optical application of diamond like carbon film deposited on Si substrate by pulsed laser[J].Infrared and Laser Engineering,2010,39(5). |
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| Authors: | CHENG Yong GUO Yan-long WANG Shu-yun MI Chao-wei DING Fang-zheng WAN Qiang |
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