| 制备参数和退火对激光诱导化学汽相沉积合成纳米硅的粒径和红外光谱的影响 |
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| 引用本文： | 梁礼正,张海燕,何艳阳,陈可心,王卫乡,刘颂豪.制备参数和退火对激光诱导化学汽相沉积合成纳米硅的粒径和红外光谱的影响[J].红外与激光工程,2001,30(5):382-386. |
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| 作者姓名： | 梁礼正 张海燕 何艳阳 陈可心 王卫乡 刘颂豪 |
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| 作者单位： | 1. 广东工业大学应用物理系
2. 华南师范大学量子电子研究所 |
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| 摘 要： | 用激光诱导化学汽相沉积（LICVD）法制备纳米硅，发现：激光强度存在低限阈值，SiH4的流速存在着高限阈值，二者正相关，以维持SiH4裂解所需的高温。为了使纳米硅粒小而均匀，应加大激光强度，并相应加快SiH4的流速，以提高纳米硅粒的成核率，减少每一个纳米硅核所吸收的硅原子数，并缩短每一个纳米硅核的生长期。纳米硅制取后退火脱H，纳米硅的红外吸收光谱发生变化：4条特征吸收带的位置、强度和形状各有改变。这是因为纳米硅的表面积很大，表面氧化使组态改变。为了减轻这样的氧化，纳米硅应在Ar气氛中而不是在空气中退火，并且开始退火的温度低于300℃。
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| 关 键 词： | 激光诱导 化学汽相沉积 纳米硅粉 红外光谱 粒径 退火 |
| 文章编号： | 1007-2276(2001)05-0382-05 |
| 修稿时间： | 2001年2月26日 |
Effect of technologic parameters on particle diameters of nano-Si produced by LICVD |
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| LIANG Li-zheng,ZHANG Hai-yan,HE Yian-yang ,CHEN Ke-xin,WANG Wei-xiang,LIU Song-hao.Effect of technologic parameters on particle diameters of nano-Si produced by LICVD[J].Infrared and Laser Engineering,2001,30(5):382-386. |
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| Authors: | LIANG Li-zheng ZHANG Hai-yan HE Yian-yang CHEN Ke-xin WANG Wei-xiang LIU Song-hao |
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| Affiliation: | LIANG Li-zheng~1,ZHANG Hai-yan~1,HE Yian-yang~ 1,CHEN Ke-xin~2,WANG Wei-xiang~2,LIU Song-hao~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LICVD NanoSi Infraredspectrum |
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