| 微型柔性红外传感器的制作研究 |
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| 引用本文： | 王明,陈四海,潘峰,汪殿明,黄光. 微型柔性红外传感器的制作研究[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(Z1) |
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| 作者姓名： | 王明 陈四海 潘峰 汪殿明 黄光 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;武汉国家光电实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种128×1元柔性红外传感器阵列;首先在硅片衬底上生长一层PDMS柔性材料,然后再在柔性材料上利用MEMS技术制作红外传感器阵列.采用六轴微小器件试验台进行扭弯试验.在传感器的两端施加一定的力使其弯曲,然后测传感器不同单元的电阻.试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列能经受多次弯扭,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3 300次后,传感器本身的柔性材料并没有断.
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| 关 键 词： | 微机电系统 MEMS 技术红外传感器 PDMS柔性材料 |
Fabrication of micro flexible IR sensor |
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| WANG Ming,CHEN Si-hai,PAN Feng,WANG Dian-ming,HUANG Guang. Fabrication of micro flexible IR sensor[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(Z1) |
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| Authors: | WANG Ming CHEN Si-hai PAN Feng WANG Dian-ming HUANG Guang |
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