| 980nm大功率垂直腔面发射激光器温度和远场分布特性 |
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| 引用本文： | 宁永强,李特,秦莉,崔锦江,张岩,刘光裕,张星,王贞福,史晶晶,梁雪梅,刘云,王立军.980nm大功率垂直腔面发射激光器温度和远场分布特性[J].红外与激光工程,2008,37(6). |
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| 作者姓名： | 宁永强 李特 秦莉 崔锦江 张岩 刘光裕 张星 王贞福 史晶晶 梁雪梅 刘云 王立军 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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| 摘 要： | 采用发射波长为980 nm的InGaAs/GaAs应变量子阱,在垂直腔面发射结构中共设计生长3组、每组3个量子阱,形成9个量子阱的周期性增益结构,并使每组均位于腔场极大处,以获得最好的增益匹配.为提高激光器的输出功率及获得较好的光束质量,采用大台面直径和由衬底面出射激光的结构.每个单元器件的P面台面直径为400～600 μm,经湿氮气氛下40 min的侧氧化后在有源区形成直径300～500 μm的电流限制孔.而N面出光孔的直径仍为相应的400～600 μm.在室温连续工作下器件的最大输出功率达到1.4 W.随着注入电流的增大,观察到激光远场分布从空心圆环向中心单亮斑转化的过程.对不同温度下的激光输出特性进行了变温测试,结果表明通过DBR和有源区结构设计上较好的匹配,实现了室温下最低的激射阈值电流.
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 周期增益 量子阱 远场分布 |
Temperature and far-field distribution characteristics of 980 nm high power VCSEL |
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| NING Yong-qiang,LI Te,QIN Li,CUI Jin-jiang,ZHANG Yan,LIU Guang-yu,ZHANG Xing,WANG Zhen-fu,SHI Jing-jing,LIANG Xue-mei,LIU Yun,WANG Li-jun.Temperature and far-field distribution characteristics of 980 nm high power VCSEL[J].Infrared and Laser Engineering,2008,37(6). |
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| Authors: | NING Yong-qiang LI Te QIN Li CUI Jin-jiang ZHANG Yan LIU Guang-yu ZHANG Xing WANG Zhen-fu SHI Jing-jing LIANG Xue-mei LIU Yun WANG Li-jun |
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