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DS—2型微型直流溅射仪
引用本文：任巍,张志峰.DS—2型微型直流溅射仪[J].薄膜科学与技术,1992,5(3):84-84.
作者姓名：任巍  张志峰
摘    要：
关 键 词：直流  溅射仪
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