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| ZrO2薄膜横断截面的透射电镜观察 | |
| 引用本文： | 沈辉,石旺舟,等.ZrO2薄膜横断截面的透射电镜观察[J].薄膜科学与技术,1991,4(4):55-58. |
| 作者姓名： | 沈辉 石旺舟 |
| 摘 要： | 本文报道了ZrO2薄膜横断截面的透射电镜观察结果。ZrO2薄膜通过射频磁控溅射法制备，电镜观察表明，薄膜致密均匀，呈柱状晶生长，通过电子衍射和X光衍射实验确定。为面心立方多晶膜，此外，通过对高分辨电子显微象的观察与分析，对薄膜的形成机理进行了初步探讨。 |
| 关 键 词： | 横截面 透射电镜 氧化锆薄膜 |
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