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SiO2—Ti纳米迭层膜的制备
引用本文:李戈扬,王张敏.SiO2—Ti纳米迭层膜的制备[J].薄膜科学与技术,1993,6(1):45-48.
作者姓名:李戈扬  王张敏
摘    要:

关 键 词:纳米迭层膜  磁控溅射  SiO2-Ti
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