| 纳米压印技术的研究进展 |
| |
| 引用本文： | 邢飞,廖进昆,杨晓军,唐雄贵,段毅.纳米压印技术的研究进展[J].四川激光,2013,34(3). |
| |
| 作者姓名： | 邢飞 廖进昆 杨晓军 唐雄贵 段毅 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
| |
| 摘 要： | 纳米压印技术由于具有操作简单、高分辨率、成本低、重复性高等优点,近年来受到国内外研究机构的高度重视.本文主要介绍了目前主流的几种纳米压印技术,并简要概述了纳米压印技术的研究现状和应用前景.
|
| 关 键 词： | 纳米压印光刻 高分辨率 高重复性 |
Research progress of the nanoimprint technology |
| |
| XING Fei
,
LIAO Jin-kun
,
YANG Xiao-jun
,
TANG Xiong-gui
,
DUAN Yi.Research progress of the nanoimprint technology[J].Laser Journal,2013,34(3). |
| |
| Authors: | XING Fei LIAO Jin-kun YANG Xiao-jun TANG Xiong-gui DUAN Yi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | nanoimprint high resolution high repeatability |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
