| 内表面粗糙度在线测量仪 |
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| 引用本文： | 徐彧,徐继麟,周肇飞.内表面粗糙度在线测量仪[J].四川激光,2002,23(2):52-54. |
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| 作者姓名： | 徐彧 徐继麟 周肇飞 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子工程学院 成都610051
(徐彧，徐继麟)，四川大学激光应用研究所 成都610064(周肇飞) |
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| 摘 要： | 为满足军工产品的在线测量需要 ,开发了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度在线测量仪。它利用半导体激光器为光源 ,光电二极管阵列接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带。由于采用了远心光路的设计和对光源进行了电光调制成功地提高了仪器的测量精度和抗干扰性能。仪器的测量范围Ra:0 .0 0 5～ 1.6 μm ,测量相对误差δ<5 % ,测量重复性优于± 2 % ,适合对多种机加工形成的零件的内、外表面进行非接触在线检测
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 在线测量仪 光散射 半导体激光器 |
| 修稿时间： | 2001年12月4日 |
On - line internal surface roughometer |
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| Xu Yu,Xu Jilin,Zhou Zhaofei.On - line internal surface roughometer[J].Laser Journal,2002,23(2):52-54. |
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| Authors: | Xu Yu Xu Jilin Zhou Zhaofei |
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| Affiliation: | Xu Yu 1 Xu Jilin 1 Zhou Zhaofei 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | light scattering surface roughness on-line measurement laser diode |
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