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| 红外材料器件 | |
| 引用本文： | 吴 刚,唐利斌 马庆华,赵增林 张 梅,黄.红外材料器件[J].激光与红外,2005,35(9). |
| 作者姓名： | 吴 刚 唐利斌 马庆华 赵增林 张 梅 黄 |
| 作者单位： | 1. 昆明物理研究所红外材料研发中心,云南昆明650223; 2. 长春理工大学,吉林长春130022 |
| 摘 要： | 采用红外显微镜、X射线双晶回摆衍射法、X射线貌相术对CdZnTe衬底中的沉淀相、亚结构、组分偏析等缺陷进行了研究,并对用此衬底液相外延的HgCdTe薄膜作了测试。结果显示: CdZnTe衬底中亚晶界处聚集的位错在外延生长中呈发散状向薄膜中延伸,造成了薄膜形成亚晶界和更大面积的由位错引起的晶格畸变应力区域,影响了薄膜结构的完整性。 |
| 关 键 词： | X射线双晶回摆衍射法 貌相术 CdZnTe衬底 HgCdTe薄膜 |
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