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PLD法制备PbSe薄膜的性能分析
引用本文:赵跃智,陈长乐,丁世敬,周思凯.PLD法制备PbSe薄膜的性能分析[J].激光与红外,2008,38(3):245-248.
作者姓名:赵跃智  陈长乐  丁世敬  周思凯
作者单位:1. 洛阳理工学院材料系,河南,洛阳,471000
2. 西北工业大学理学院,陕西,西安,710072
3. 中国人民解放军61489部队,河南,洛阳,471023
摘    要:通过脉冲激光沉积(PLD)法在Si(111)和SiO2玻璃基片上制备了PbSe薄膜。X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪测试结果表明:所有制备的薄膜都为多晶薄膜,发现薄膜生长温度对薄膜衍射峰有一定影响;PLD法制备的薄膜的成分与靶材的基本一致,实现了同组分沉积;所有薄膜表面比较平滑,表面不平整度小于200nm,结构比较致密;PbSe薄膜对红外光具有敏感的响应特性;在波长为5μm处存在有明显的吸收边,此吸收边对应于直接带隙PbSe材料的禁带宽度;对应于波长小于5μm的红外光,PbSe薄膜存在有明显的强吸收。

关 键 词:脉冲激光沉积  PbSe薄膜  性能
文章编号:1001-5078(2008)03-0245-04
修稿时间:2007年9月14日

Properties of PbSe Thin Films by PLD
ZHAO Yue-zhi,CHEN Chang-le,DING Shi-jing,ZHOU Si-kai.Properties of PbSe Thin Films by PLD[J].Laser & Infrared,2008,38(3):245-248.
Authors:ZHAO Yue-zhi  CHEN Chang-le  DING Shi-jing  ZHOU Si-kai
Abstract:
Keywords:PLD  PbSe thin films  properties
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