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TCR矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响
引用本文:邱宇峰,金晶,翟厚明.TCR矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响[J].激光与红外,2014,44(6):629-632.
作者姓名:邱宇峰  金晶  翟厚明
作者单位:上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海 200072;中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
摘    要:VO2薄膜的电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistance,用α表示)随温度改变会发生显著变化。因此,以VO2薄膜为热敏材料的非制冷探测器微桥像元采用1/R—(-αI2)曲线来测量微桥热导时,如果使用固定TCR数值,必然会对测量结果带来偏差。本文采用TCR逐点矫正的方法测量了非制冷微桥热导,并分析了有效热导,实验中的最大热导矫正率达到20.08%。采用本方法可使非制冷探测器微桥的热导测试结果更为准确,也更具有实际应用价值。

关 键 词:非制冷探测器  热导  有效热导  电阻温度系数  微桥

Effect of TCR correction on microbridge thermal conductance test for uncooled detectors
QIU Yu-feng,JIN Jing,ZHAI Hou-ming.Effect of TCR correction on microbridge thermal conductance test for uncooled detectors[J].Laser & Infrared,2014,44(6):629-632.
Authors:QIU Yu-feng  JIN Jing  ZHAI Hou-ming
Abstract:
Keywords:uncooled detector  thermal conductance  effective thermal conductance  temperature coefficient of resistance  microbridge
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