| 应用光力学效应的非制冷红外成像系统 |
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| 引用本文： | 王玮冰,陈大鹏,叶甜春,伍小平,张青川,潘 亮,段志辉.应用光力学效应的非制冷红外成像系统[J].激光与红外,2004,34(2):83-86. |
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| 作者姓名： | 王玮冰 陈大鹏 叶甜春 伍小平 张青川 潘 亮 段志辉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
2. 中国科学技术大学力学与机械工程系,安徽,合肥,230027 |
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| 摘 要： | 应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列( Focal Plane Array - FPA) ,配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8 至14μm 光谱区得到热物体成像。其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦平面阵列。不同于利用其他效应的非制冷红外成像系统,此种成像系统可以方便的在室温下正常工作,而且省去了相当复杂的信号转换电路,降低了制备复杂程度和成本。采用MEMS 表面硅工艺制备FPA ,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理、光学读出系统、工艺制备难点,并得到了高温物体红外源的成像响应结果。
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| 关 键 词： | 光力学 MEMS 焦平面阵列 双材料悬臂梁 |
| 文章编号： | 1001-5078(2004)02-0083-04 |
An Optomechanical Uncooled Infrared Imaging System Based on Bi-material Cantilever Pixels |
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| WANG Wei-bing,CHEN Da-peng,YE Tian-chun,WU Xiao-ping,ZHANG Qing-chuan,PAN Liang,DUAN Zhi-hui.An Optomechanical Uncooled Infrared Imaging System Based on Bi-material Cantilever Pixels[J].Laser & Infrared,2004,34(2):83-86. |
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| Authors: | WANG Wei-bing CHEN Da-peng YE Tian-chun WU Xiao-ping ZHANG Qing-chuan PAN Liang DUAN Zhi-hui |
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| Affiliation: | WANG Wei-bing~1,CHEN Da-peng~1,YE Tian-chun~1,WU Xiao-ping~2,ZHANG Qing-chuan~2,PAN Liang~2,DUAN Zhi-hui~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optomechanical mems focal plane array(FPA) bi-material cantilever |
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