集成电路储存器激光熔丝修复技术的挑战和前景

本文回顾了激光熔丝修复技术的过去和现状，并讨论了其面临的挑战和今后的发展方向。从熔丝尺寸不断缩小的前提入手，详细讨论了各种激光系统参数对熔丝尺寸大小的关系和影响。其中包括了激光的波长、脉冲宽度以及光致热效应的作用。新一代的激光熔丝修复处理系统将采用新的激光光源和系统技术，以及新型的光学和定位系统，以应付下一代储存器技术的要求和挑战。