MEMS，超越摩尔定律的突破口

半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期，而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐，其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前，在由上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室、《半导体国际》、《EDN China》主办的“MEMS设计制造技术与产业化高峰论坛”上，来自产业链和学术界的专家汇聚一堂，分享了MEMS设计制造技术的方案，探讨了MEMS产业未来的发展之道。