直流反应溅射沉积ITO膜的X射线光电子谱研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

直流反应溅射沉积ITO膜的X射线光电子谱研究

引用本文：	张旭苹,陈国平.直流反应溅射沉积ITO膜的X射线光电子谱研究[J].光电子技术,1994,14(2):142-147.

作者姓名：	张旭苹陈国平

摘要：
关键词：	ITO膜 X射线光电子谱反应溅射
本文献已被维普等数据库收录！