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| 提高红外写入液晶光阀透明电极导电性能方向的研究 | |
| 引用本文： | 徐晓峰,赵恒谦.提高红外写入液晶光阀透明电极导电性能方向的研究[J].光电子技术,1995,15(4):285-288. |
| 作者姓名： | 徐晓峰 赵恒谦 |
| 摘 要： | 介绍了一种改善红外写入液晶光阀半导体透明导电膜导电性能的一种方法。通过对氧化铟掺铟比例的研究，经过大量科学实验，并采用Ｘ光电子能谱仪对两者的比例进行了定量分析，发现在对膜层透过特性影响不大的情况下，两者之间的质量百分比在９０％比１０％左右时，其膜层导电性能有明显提高，从方电阻十几ｋΩ／□降至７３０Ω／□。我们将此缺点制备的ＢａＦ２为基底，在中心波长为１０．６μｍ，处透过率为５６％，方电阻为７３０Ω |
| 关 键 词： | 导电膜 红外 液晶 氧化铟掺铟 半导体薄膜技术 |
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