| 透明导电IMO薄膜的载流子浓度测量 |
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| 引用本文： | 孟扬,沈杰,蒋益明,刘键,林剑,杨锡良,陈华仙,章壮健.透明导电IMO薄膜的载流子浓度测量[J].光电子技术,2001,21(4):245-250. |
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| 作者姓名： | 孟扬 沈杰 蒋益明 刘键 林剑 杨锡良 陈华仙 章壮健 |
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| 作者单位： | 复旦大学材料科学系, |
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| 摘 要： | 用反应蒸发法制备的掺钼氧化铟 ( In2 O3:Mo,IMO)薄膜在可见光区域的平均透射率 (含 1 .2 mm厚玻璃基底 )超过 80 % ,电阻率最低达 1 .7× 1 0 - 4Ω·cm。采用等离子振荡波长法、van-der-Pauw法和光谱拟合法等三种方法对IMO薄膜和 ITO薄膜的载流子浓度进行了测量和比较 ,结果表明 IMO薄膜的载流子浓度还不到 ITO薄膜的三分之一。因此 ,IMO薄膜对可见光的吸收小 ,有很大的发展空间可以通过提高载流子浓度而进一步提高电导率 ,对近红外线也有较高的透射率 ,有利于拓展透明导电薄膜的应用领域
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| 关 键 词： | 透明导电薄膜 掺钼氧化铟 载流子浓度 |
| 文章编号： | 1005-488(2001)04-0245-06 |
| 修稿时间： | 2001年7月3日 |
Measurement of Carrier Concentration of Transparent Conductive IMO Films |
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| Meng Yang,Shen Jie,Jiang Yiming,Liu Jian,Lin Jian,Yang Xiliang,Chen Huaxian,Zhang Zhuangjian.Measurement of Carrier Concentration of Transparent Conductive IMO Films[J].Optoelectronic Technology,2001,21(4):245-250. |
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| Authors: | Meng Yang Shen Jie Jiang Yiming Liu Jian Lin Jian Yang Xiliang Chen Huaxian Zhang Zhuangjian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transparent conductive films molybdenum doped indium oxide reactive evaporation carrier concentration |
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