| InGaAs/InAlAs光电导太赫兹发射天线的制备与表征 |
| |
| 引用本文： | 陈益航,杨延召,张桂铭,徐建星,苏向斌,王天放,余红光,石建美,吴斌,杨成奥,张宇,徐应强,倪海桥,牛智川.InGaAs/InAlAs光电导太赫兹发射天线的制备与表征[J].太赫兹科学与电子信息学报,2023(12):1403-1409. |
| |
| 作者姓名： | 陈益航 杨延召 张桂铭 徐建星 苏向斌 王天放 余红光 石建美 吴斌 杨成奥 张宇 徐应强 倪海桥 牛智川 |
| |
| 作者单位： | 1.中国科学院半导体研究所，北京 100083;2.中国电子科技集团公司 第四十一研究所，山东 青岛 266555 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(62127804) |
| |
| 摘 要： | 光电导天线作为太赫兹时域光谱仪产生与探测太赫兹辐射的关键部件，具有重要的科研与工业价值。本文采用分子束外延(MBE)方法制备InGaAs/InAlAs超晶格作为1 550 nm光电导天线的光吸收材料，使用原子力显微镜、光致发光、高分辨X射线衍射等方式验证了材料的高生长质量；通过优化制备条件得到了侧面平整的台面结构光电导天线。制备的光电导太赫兹发射天线在太赫兹时域光谱系统中实现了4.5 THz的频谱宽度，动态范围为45 dB。
|
| 关 键 词： | 太赫兹时域光谱仪 光电导天线 分子束外延 InGaAs/InAlAs超晶格 |
| 收稿时间： | 2022/10/11 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/2/3 0:00:00 |
Fabrication and characterization of InGaAs/InAlAs photoconductive terahertz transmitting antenna |
| |
| CHEN Yihang,YANG Yanzhao,ZHANG Guiming,XU Jianxing,SU Xiangbin,WANG Tianfang,YU Hongguang,SHI Jianmei,WU Bin,YANG Cheng''ao,ZHANG Yu,XU Yingqiang,NI Haiqiao,NIU Zhichuan.Fabrication and characterization of InGaAs/InAlAs photoconductive terahertz transmitting antenna[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2023(12):1403-1409. |
| |
| Authors: | CHEN Yihang YANG Yanzhao ZHANG Guiming XU Jianxing SU Xiangbin WANG Tianfang YU Hongguang SHI Jianmei WU Bin YANG Cheng'ao ZHANG Yu XU Yingqiang NI Haiqiao NIU Zhichuan |
| |
| Abstract: | Photoconductive antennas are of great scientific and industrial value as the key components for generating and detecting terahertz radiation in terahertz time-domain spectrometers. In this paper, Molecular Beam Epitaxy(MBE) is utilized to prepare InGaAs/InAlAs superlattices as light-absorbing materials for 1 550 nm photoconductive antennas. The high growth quality of the materials is verified by Atomic Force Microscopy(AFM), Photoluminescence(PL), and high-resolution X-ray diffraction. The mesa-structured photoconductive antenna with flat sides is obtained by optimizing the preparation conditions. The fabricated photoconductive terahertz transmitting antenna achieves a spectral width of 4.5 THz in a terahertz time-domain spectroscopy system with a dynamic range of 45 dB. |
| |
| Keywords: | terahertz time-domain spectrometer photoconductive antenna Molecular Beam Epitaxy InGaAs/InAlAs superlattices |
|
| 点击此处可从《太赫兹科学与电子信息学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《太赫兹科学与电子信息学报》下载全文 |
|
