| Al掺杂ZnO紫外探测器的快速响应技术 |
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| 引用本文： | 邓意峰,刘 浩,贾 卓,邓 宏.Al掺杂ZnO紫外探测器的快速响应技术[J].太赫兹科学与电子信息学报,2014,12(5):771-774. |
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| 作者姓名： | 邓意峰 刘 浩 贾 卓 邓 宏 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054 |
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| 摘 要： | 通过交变电场下的紫外光响应测试,观察到ZnO基薄膜在254 nm紫外光激发下的慢响应现象,并测量了响应时间常数。为提高ZnO基薄膜紫外探测器的性能,采用磁控溅射法,制备了纯ZnO薄膜和掺Al浓度为10 at.%(原子比例)的ZnO薄膜紫外探测器,测量了样品的频率特性曲线。结果表明,Al掺杂能有效地抑制ZnO薄膜的慢响应,实现探测器对紫外光的响应时间常数τ<25μs的快速响应。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 Al掺杂 紫外探测器 |
| 收稿时间： | 2013/11/21 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2014/1/12 0:00:00 |
Rapid response technologies of aluminum doped zinc oxide ultraviolet detector |
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| DENG Yi-feng,LIU Hao,JIA Zhuo and DENG Hong.Rapid response technologies of aluminum doped zinc oxide ultraviolet detector[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2014,12(5):771-774. |
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| Authors: | DENG Yi-feng LIU Hao JIA Zhuo and DENG Hong |
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| Affiliation: | DENG Yi-feng;LIU Hao;JIA Zhuo;DENG Hong;State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Device,University of Electronic Science and Technology of China; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film Al-doping ultraviolet light detector |
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