| 退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究 |
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| 引用本文： | 宋立媛,唐利斌,姬荣斌,陈雪梅,李雄军.退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究[J].红外技术,2010,32(11). |
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| 作者姓名： | 宋立媛 唐利斌 姬荣斌 陈雪梅 李雄军 |
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| 摘 要： | 采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了退火温度和退火时间对ZnO:Al薄膜结构和形貌的影响.结果显示,ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿C轴的(002)择优取向,随退火温度的升高或退火时间的适当延长,衍射峰的半高宽减小、强度增强,晶粒尺寸增大.结果表明,通过适当控制退火温度和退火时间可以得到高质量的ZnO:Al薄膜.
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| 关 键 词： | 退火 ZnO:Al薄膜 X-射线衍射(XRD) 原子力显微镜(AFM) |
Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films |
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| SONG Li-yuan,TANG Li-bin,JI Rong-bin,CHEN Xue-mei,LI Xiong-jun.Effect of Annealing on Structural Properties and surface morphologies of ZnO:Al Thin Films[J].Infrared Technology,2010,32(11). |
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| Authors: | SONG Li-yuan TANG Li-bin JI Rong-bin CHEN Xue-mei LI Xiong-jun |
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