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| 劳厄形貌术在碲镉汞器件研制中的应用 | |
| 引用本文： | 蔡毅.劳厄形貌术在碲镉汞器件研制中的应用[J].红外技术,1997,19(3):29-32. |
| 作者姓名： | 蔡毅 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所 |
| 摘 要： | 讨论了反射劳厄形貌术的优缺点，结合碲镉汞器件研制工作给出了实际应用的几个例子。如磅镉汞晶片结构检查，观察碲镉汞晶片表面的磨抛损伤、跟踪观察碲镉汞晶片在光刻、化学腐蚀成形、离子刻蚀成形前后的晶格变化等。 |
| 关 键 词： | 反射劳厄形貌术 碲镉汞 晶体缺陷 红外光学器件 |
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