| 红外折/衍混杂f-theta镜研究 |
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| 引用本文： | 王肇圻,刘娟,傅汝廉.红外折/衍混杂f-theta镜研究[J].红外技术,2006,28(2):77-80. |
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| 作者姓名： | 王肇圻 刘娟 傅汝廉 |
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| 作者单位： | 南开大学现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071 |
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| 摘 要： | 根据现代红外激光扫描系统的需求,分别设计了工作于808nm～1064nm波段和1064nm～1500nm波段的折/衍混杂f-theta系统。系统分别由三片镜和四片镜组成,激光扫描范围分别为100mm×100mm和60mm×60mm。此二系统相配合,可以完成在808nm～1500nm波长范围的激光扫描工作。点列图分析表明,输出光斑质量优良均匀,在0视场、0.7视场、和全视场光斑均接近衍射极限。像差分析表明,系统最大色差为26μm,最大场曲小于0.3mm,最大f-theta误差小于0.03%。满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求。
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| 关 键 词： | f-theta透镜 折/衍混杂系统 激光打标 光学设计 |
| 文章编号： | 1001-8891（2006）02-0077-04 |
| 收稿时间： | 2005-06-23 |
| 修稿时间： | 2005-06-232005-10-28 |
Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band |
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| WANG Zhao-qi,LIU Juan,FU Ru-lian.Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band[J].Infrared Technology,2006,28(2):77-80. |
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| Authors: | WANG Zhao-qi LIU Juan FU Ru-lian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | f-theta lens hybrid refractive/diffractive system laser drilling optical lens design |
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