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| 铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究 | |
| 引用本文： | 范茂彦,姜胜林,张丽芳.铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究[J].红外技术,2011,33(5):296-300,308. |
| 作者姓名： | 范茂彦 姜胜林 张丽芳 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;昆明物理研究所,云南,昆明,650223;玉溪师范学院信息技术工程学院,云南,玉溪,653100 2. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 3. 玉溪师范学院信息技术工程学院,云南,玉溪,653100 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会基金资助项目，国家"八六三"基金资助项目 |
| 摘 要： | 为了制备高性能铁电厚膜红外探测器,对硅材料的各向异性腐蚀机理及特性进行了探讨,开展了(100)硅片湿法各向异性腐蚀工艺研究.研究KOH摩尔比、腐蚀温度对si基片腐蚀特性的影响.在KOH与IPA混合腐蚀液腐蚀系统中,氢气泡可以快速的脱离硅表面,使得硅表面的形貌得到改善.结果表明:Si(100)面的腐蚀速度随着腐蚀液浓度和... |
| 关 键 词： | 非制冷红外焦平面阵列 微桥 光刻 各向异性腐蚀 腐蚀装置 |
Research on Wet Etching of Microbridge for Ferroelectric Thick Film Focal Plane Detector |
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| FAN Mao-yan,JIANG Sheng-lin,ZHANG li-fang.Research on Wet Etching of Microbridge for Ferroelectric Thick Film Focal Plane Detector[J].Infrared Technology,2011,33(5):296-300,308. | |
| Authors: | FAN Mao-yan JIANG Sheng-lin ZHANG li-fang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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