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| 微测辐射热计单元红外吸收分析 | |
| 作者单位： | ;1.北方广微科技有限公司 |
| 摘 要： | 介绍了一种计算多层结构微测辐射热计探测单元的红外吸收模型,并计算了所设计25μm微测辐射热计探测单元的红外吸收。当探测单元表面金属吸收层的方阻从2~600Ω/□变化时,单元的吸收功率先逐渐增大,之后缓慢下降。对于300 K黑体辐射,当探测单元的吸收层方阻达到332Ω/□时,吸收率达到最大。此时在8~14μm波段单元的红外吸收率平均值为72%,吸收功率为16 nW。在此基础上对探测单元结构的悬空高度进行优化,得到最优的两层悬空间隙高度均为0.8μm,最优吸收率为82%。 |
| 关 键 词： | 微测辐射热计 等效折射率 吸收率 热响应时间 |
Analysis of Infrared Absorption for 25 μm Pitch Pixel of Micro-bolometer |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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