| 台面PN结InSb红外探测器响应时间研究 |
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| 引用本文： | 马启,邓功荣,苏玉辉,余连杰,信思树,龚晓霞,陈爱萍,赵鹏.台面PN结InSb红外探测器响应时间研究[J].红外技术,2016(4):305-309. |
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| 作者姓名： | 马启 邓功荣 苏玉辉 余连杰 信思树 龚晓霞 陈爱萍 赵鹏 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所 |
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| 摘 要： | 分析了光伏In Sb探测器响应时间与量子效率、反向饱和电流的关系,设计出量子效率为0.61~0.56、响应时间为20~60 ps的锑化铟(In Sb)红外探测器,实验制备了台面p~+-on-n结构的探测器。通过I-V、C-V测试验证了制备的器件物理参数与设计值吻合。采用脉冲响应测试了In Sb探测器的响应时间(0.3μs),由于封装和其他分布电容的限制,响应时间测试值与理论计算值存在差距。
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| 关 键 词： | 红外探测器 锑化铟(In Sb) 响应时间 量子效率 台面PN结 |
Response of InSb Infrared Detector with Mesa PN Structure |
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| MA Qi;DENG Gongrong;SU Yuhui;YU Lianjie;XIN Sishu;GONG Xiaoxia;CHEN Aiping;ZHAO Peng.Response of InSb Infrared Detector with Mesa PN Structure[J].Infrared Technology,2016(4):305-309. |
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| Authors: | MA Qi;DENG Gongrong;SU Yuhui;YU Lianjie;XIN Sishu;GONG Xiaoxia;CHEN Aiping;ZHAO Peng |
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| Affiliation: | MA Qi;DENG Gongrong;SU Yuhui;YU Lianjie;XIN Sishu;GONG Xiaoxia;CHEN Aiping;ZHAO Peng;Kunming Institute of Physics; |
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