多碱光阴极制备自动化工艺现状

本文概述了多碱光阴极方面的最新工艺进展情况,对多碱光阴极的制备过程、成份、能带模型、物理特性、工作特性以及多碱光阴极制备的自动化等作了讨论。报道了自动光阴极制备装置的设计、操作和性能,其基本操作是由计算机来完成的。在自动制备过程中,所有的控制和监视功能、判断和有关过程状态的操作以及光阴极的处理过程中的精确测量,都由计算机来完成。光阴极制备过程中的每一个参数都被存入计算机的内存中,而传感元件把各处理端测到的状态数据传送到计算机内,以便计算机按照程序确定的制备过程指数作精确的适时控制。文中还讨论了计算机程序的改进途径,并且用一个逻缉流程图示出程序的基本步骤。