平面型24元InGaAs短波红外探测器 |
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引用本文: | 邵秀梅,李淘,邓洪海,程吉凤,陈郁,唐恒敬,李雪.平面型24元InGaAs短波红外探测器[J].红外技术,2011(9):501-504. |
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作者姓名: | 邵秀梅 李淘 邓洪海 程吉凤 陈郁 唐恒敬 李雪 |
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作者单位: | 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室;中国科学院红外成像材料与器件重点实验室; |
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摘 要: | 设计了带有保护环结构的平面型24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用n-i-n+型InP/Ino.53Gao.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器.LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果;I-V测试表明器件的优值因子R0A约4.2×106Ω·cm2,在-0.1 V反向偏压下的...
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关 键 词: | InGaAs 平面型探测器 保护环 短波红外 |
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