| 小像元碲镉汞红外焦平面探测器的研究进展 |
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| 引用本文： | 杨超伟,李东升,李立华,李京辉,封远庆,杨毕春,唐遥,张志文,李雄军,李妍君.小像元碲镉汞红外焦平面探测器的研究进展[J].红外技术,2019,41(11):1003-1011. |
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| 作者姓名： | 杨超伟 李东升 李立华 李京辉 封远庆 杨毕春 唐遥 张志文 李雄军 李妍君 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223;昆明物理研究所,云南昆明,650223 |
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| 摘 要： | 随着红外技术的发展,探测器的尺寸、重量和功耗(SWaP)的减小已成为研究热点。像元尺寸的减小,一方面可以提高器件的分辨率,另一方面可以减小整个探测器系统的体积、重量和功耗,进而大大节约成本。因此,像元尺寸的减小成了研究的重点。本文介绍了小像元红外焦平面器件的技术难点,分别从系统的调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)、噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)、像元结构和像元集成互连方面进行了讨论。此外,介绍了国外像元中心距为12?m、10?m、8?m和5?m的HgCdTe红外焦平面探测器的研究进展。
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| 关 键 词： | 小像元 碲镉汞 红外探测器 |
Review of Small-pixel HgCdTe Infrared Focal Plane Detector |
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