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高反射率周期性铁电多层膜形成机理研究
引用本文:胡古今,洪学鹍,陈静,褚君浩,戴宁.高反射率周期性铁电多层膜形成机理研究[J].红外与毫米波学报,2007,26(2):89-91.
作者姓名:胡古今  洪学鹍  陈静  褚君浩  戴宁
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
基金项目:国家自然科学基金(60578058),国家杰出青年基金(60225004),上海市科技专项(0452nm085)资助项目
摘    要:利用含聚合物添加剂的前驱体溶液,通过重复甩胶镀膜—热处理工艺制备了PbZrB0.4BTiB0.6B0.6OB3(PZT)和BaTi0.9Sr0.1BO3(BST)铁电多层膜.在特定的波长范围,每个多层膜具有高达90%的光学反射率,且峰值反射率随生长次数的增加而增大.显微技术分析表明每个多层膜是由一系列厚度几乎相等的致密层和厚度也近乎相同的多孔层交替排列形成的一维周期性结构.重点分析了这种周期性结构的可能形成机理,它涉及相分离和高分子聚合物热解两个过程.

关 键 词:铁电多层膜  周期性  相分离  热解
文章编号:1001-9014(2007)02-0089-03
收稿时间:2006-08-12
修稿时间:2006-08-122006-09-20

FORMATION MECHANISM OF PERIODICAL FERROELECTRIC MULTILAYERS WITH HIGH OPTICAL REFLECTIVITY
HU Gu-Jin,HONG Xue-Kun,CHEN Jing,CHU Jun-Hao,DAI Ning.FORMATION MECHANISM OF PERIODICAL FERROELECTRIC MULTILAYERS WITH HIGH OPTICAL REFLECTIVITY[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2007,26(2):89-91.
Authors:HU Gu-Jin  HONG Xue-Kun  CHEN Jing  CHU Jun-Hao  DAI Ning
Affiliation:National Laboratory for infrared physics, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China
Abstract:Ferroelectric PbZrB0.4BTiB0.6B0.6OB3(PZT) and BaTi0.9Sr0.1BO3(BST) multilayers were fabricated by a repeated spin-coating/annealing step of using precursors containing polymer additive.Both the multilayers have more than 90% optical reflectivity at a given wavelength range and the maximum reflectivity increases with the number of growth.The microprobe analysis shows that the multilayers exhibit a lamellar structure consisting of alternating dense and porous layers.The possible formation mechanism for the periodical ferroelectric multilayers is examined,which involves phase separation and pyrolysis of polymer.
Keywords:ferroelectric multilayer  periodicity  phase separation  pyrolysis
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