| 基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14~16 µm波段红外增强吸收特性 |
| |
| 引用本文： | 刘子骥,梁志清,何璇,马振东,苟军,蒋亚东.基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14~16 μm波段红外增强吸收特性[J].红外与毫米波学报,2017,36(4):389-392. |
| |
| 作者姓名： | 刘子骥 梁志清 何璇 马振东 苟军 蒋亚东 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学,电子科技大学,电子科技大学,电子科技大学,电子科技大学,电子科技大学 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目）;中国博士后科学基金;创新研究群体科学基金;中央高校基本科研业务费项目 |
| |
| 摘 要： | 纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14-16um波段范围内有效应用已经得到证明。通过调节沉积在LT（钽酸锂）晶体材料上的纳米级镍铬（NiCr）薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性。通过调节晶体材料的厚度，改变抗反射腔的深度，从而调节吸收波长。为进一步加强红外吸收，应用化学腐蚀，生成粗糙的纳米级薄膜表面结构，从而极大程度上增加吸收表面积。通过将这两种方法结合，可以明显增强指定波段的红外吸收，且其制造过程完全兼容，易于实现。可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合。
|
| 关 键 词： | NiCr 热释电探测器 纳米金属薄膜 化学腐蚀 红外吸收 |
| 收稿时间： | 2016/11/7 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2017/4/11 0:00:00 |
Enhanced Infrared Absorption Characteristics of NiCr Film Fabricated on LiTaO3 Crystal Material for 14~16um Application |
| |
| LIU Zi-Ji,LIANG Zhi-Qing,HE Xuan,MA Zhen-Dong,GOU Jun and JIANG Ya-Dong.Enhanced Infrared Absorption Characteristics of NiCr Film Fabricated on LiTaO3 Crystal Material for 14~16um Application[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2017,36(4):389-392. |
| |
| Authors: | LIU Zi-Ji LIANG Zhi-Qing HE Xuan MA Zhen-Dong GOU Jun and JIANG Ya-Dong |
| |
| Affiliation: | a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road,a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road,a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road,a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road,a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road,a State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,No. 4,Section 2,North Jianshe Road |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 |
|
