| 外延阻挡杂质带探测器的抗反射 |
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| 引用本文： | 王超,姚尧,文政绩,郝加明,胡古今,戴宁.外延阻挡杂质带探测器的抗反射[J].红外与毫米波学报,2021,40(4):459-464. |
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| 作者姓名： | 王超 姚尧 文政绩 郝加明 胡古今 戴宁 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083;上海师范大学数理学院物理系,上海 200234;中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083;国科大杭州高等研究院物理与光电工程学院,浙江杭州 310024;江苏省光伏科学与工程协同创新中心,江苏常州 213164 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2017YFA0205800)，国家自然科学基金 (11933006，61805060 ，61290304) |
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| 摘 要： | 传统外延阻挡杂质带探测器由于其材料物性和特殊的结构设计存在很强的反射,这些能量损失非常不利于器件的探测性能。报道了一种类光栅双层超构表面微结构阵列,并将此人工微结构引入到外延阻挡杂质带红外探测器以抑制对入射光的反射。实验结果显示,具有超构表面微结构阵列的器件在波长30μm处反射率低于3%,在25.3～32.2μm波段范围内反射率低于20%。同时,该超表面减反微结构对入射光的偏振还具有很强的选择性,符合第四代焦平面发展需求。
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| 关 键 词： | 阻挡杂质带 红外探测器 减反 双层超表面 |
| 收稿时间： | 2020/8/8 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/8/2 0:00:00 |
Antireflection coating for epitaxial blocked impurity band detector |
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| WANG Chao,YAO Yao,WEN Zheng-Ji,HAO Jia-Ming,HU Gu-Jin and DAI Ning.Antireflection coating for epitaxial blocked impurity band detector[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2021,40(4):459-464. |
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| Authors: | WANG Chao YAO Yao WEN Zheng-Ji HAO Jia-Ming HU Gu-Jin and DAI Ning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | blocked impurity band infrared detector antireflection bilayer metasurfaces |
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